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惯性粘滑驱动的跨尺度精密运动平台因为集成度高、行程大、分辨率高、结构简单等优点,受到了国内外学者的重视,并取得了很大的发展......
该文的研究目的是设计—用于近场光学扫描显微镜的精密扫描平台,研究利用压电陶瓷作为驱动器的扫描平台的精度.通过对压电陶瓷特性......
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考虑采用静态三步拼接曝光法的扫描干涉场曝光系统的性能与工作台的定位精度及稳定性相关,设计了一种大行程、高精度二维工作台以......
