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针对机械式衍射光栅刻划机精密定位工作台定位过程中产生的振动信号特性与光学性能指标（杂散光强度和波前质量）之间的关系，提出利用改......
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大行程高精度定位技术在天文物理学、同步辐射工程以及激光核剧变等科技领域中有着举足轻重的作用。同时,随着生物芯片技术、生物......
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