在常温下 ,用 2 0 0、10 0keVHe离子按He Ti原子浓度比 0 1、0 3和 0 2的剂量注入纳米钛膜 ,采用现代表面分析技术对试样进行形......

介绍了由弗里曼离子源在惰性气体辅助下产生Ca+、He+的研究及其分别注入钛箔和纳米钛膜的微结构分析.Ca+ 注入Ti箔样品的XPX分析表......