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线性离子束相关论文

基体温度对线性离子束技术制备α-C∶H薄膜结构和性能的影响

采用线性离子束镀膜技术在YG6硬质合金上沉积氢化类金刚石（α-C∶H）薄膜,通过原子力显微镜、Raman光谱仪、球磨仪和洛氏压力仪等研究......

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线性离子束 α-C∶H薄膜基体温度显微结构性能 linear ion source α-C∶H thin film substrate tempera

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