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组分可控相关论文
组分可控的浓缩法制备高锗组分SGOI的研究
高Ge组分的SiGe薄膜在应变硅、应变锗以及高速器件的应用前景十分广阔.本文以Si/SiGe/SOI(绝缘体上的硅)结构为初始样品,设计了系......
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绝缘体上锗硅
锗浓缩
组分可控
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