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绝缘膜带电相关论文
正带电绝缘膜的二次电子运动特性与LSI静态电容衬度分析
绝缘膜正常电现象在集成电路芯片低能电子束检测方面具有可以利用的前景.采用简化的表面电位分布模型,通过数值方法计算了二次电子......
学位
扫描电镜
集成电路检测
绝缘膜带电
二次电子
电容衬度
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