二次电子相关论文
为测量电导率较低材料的二次电子发射系数，设计了一种能量在0～2keV之间可调、束斑直径可调、可偏转、可脉冲的高性能电子枪。根据电......
利用扫描电镜对不锈钢板与玻璃板激光焊接样品不经镀膜直接进行显微观察。扫描电镜分别梯度设置一系列一次电子加速电压与E-T二次......
在军事国防等领域,回旋行波管满足了高频段、大功率、高增益、宽带宽等特性的高要求,备受各国军工科研学学者的关注,除了上述特性......
电子与固体中的相互作用构成了许多材料分析工具（扫描电子显微学、表面电子能谱学、电子探针微分析等）的物理基础（第一章）。根据固体/......
栅网是条纹相机等电子光学仪器的重要组成部件。通过使用有限差分法对栅网的丝径、网孔进行精细建模, 分析了栅网对均匀电场的扰动......
扫描电子显微镜(SEM)真空腔室内原位加热实验,当温度超过700℃以后,受到热电子的影响,导致扫描电子显微镜扫描成像质量下降,具体表......
为有效评估和预测在极紫外光辐照下,极紫外光刻机中残留的碳氢化合物气体在多层膜光学元件表面造成的碳污染状况,建立了光学元件表......
扫描电镜是一种能够对表面微观世界进行全面分析的多功能的电子光学仪器.广泛应用于现代生物学、医学、地质学、材料科学和半导体......
目前,地球环境问题日益严重,能源资源被大量开采利用,人们面临着严重的工业污染、资源匮乏等问题,为了地球和人类能够持续的生存,......
频率在0.110THz范围内的电磁波称为太赫兹波。由于太赫兹波具有频率高、量子能量低、穿透性好等特点,可广泛应用于军事通信、卫星......
低温等离子体技术在各种材料表面处理中有着广泛的应用,如半导体掺杂、离子注入、材料蚀刻和薄膜沉积等。连续射频容性辉光放电具......
一、真空技术 V1 JLS—300型无油超高真空 机组的研制 胡昌官 金葆荔 白玉礼 (国营南光机器厂) 本机组采用JLS—300型复合离子泵与......
本文介绍场发射扫描电镜的工作原理及日本日立公司的几种场发射扫描电镜的型号、性能。
This article describes the working pri......
为了得到X射线条纹相机中CsI光阴极的高能电子份额数据,通过蒙特卡罗方法建立模型来研究CsI光阴极在X射线照射下的光电发射特性。......
MCP是一种超快响应的电子倍增器,在像增强器和光电倍增管中有广泛应用.本文首先介绍了MCP输入增强膜原理,之后利用真空镀膜方法在M......
等离子体鞘层是等离子体物理中一个古老且重要的问题，最初由Langmuir在1929年对等离子体鞘层的基本特性作了阐述。至此，鞘层的基本理......
二次电子信号的出射在科学技术领域都有着重要的价值，它作为扫描电子显微镜最常用的成像模式，能够反映电子束轰击范围内原位的材料以......
扫描电子显微镜主要用于样品显微结构的表征分析,在科研和实际工作中应用广泛.荷电现象是最常见的严重影响到SEM图像质量的现象之......
期刊
模拟扩展到具有平滑弯曲形貌的波形结构样品.MC模拟模型用Mott截面描述电子的弹性散射以及基于完全Penn算法的介电函数理论描述电......
我校购进的日本电子公司ＪＣＸＡ－７３３型电子探针是八十年代初期产品。主要技术指标为：二次电子图像分辨率７ｎｍ，放大倍数十万倍，元素分析范围Ｂ５—Ｕ９２，大部分元......
采用对比测量方法研究了微通道板结构参数,即开口比、板厚、电极深度、离子阻挡膜、输入增强膜对其噪声因子的影响。结果表明,开口......
提出了在0.1 keV～30 keV能量范围内进行电子束曝光Monte Carlo模拟的分段散射模型优化方案.在该方案中,对所有的弹性散射均采用精确......
将电晕损耗和电晕效应控制在合理的水平是高压输电线路设计的一项关键内容,而电晕放电的起始条件对于电晕控制来说至关重要.为此,......
绝缘膜正带电现象在集成电路芯片低能电子束检测方面具有可以利用的前景.采用简化的表面电位分布模型,通过数值方法计算了二次电子......
利用分段散射模型,借助Monte Carlo方法模拟了具有高斯分布特征的高能入射电子束(50keV≤E0≤100keV)在抗蚀剂中的散射过程,分别得......
基于荫罩式等离子显示器试验平台测试了高Xe混合气体条件下对向放电的帕邢曲线，并使用本地场近似的流体模型计算了10％～80％Xe浓度下放电......
文章运用Monte Carlo方法模拟具有高斯分布特征的低能入射电子束斑在PMMA-村底中的复杂散射过程，分别得到了电子束在抗蚀剂中的穿透......
超高真空测试设备配备的能量分析仪可分析材料表面发射的二次电子能谱，区分真正的二次电子和背散射电子，并通过对能谱积分求得真二次......
本文主要介绍在多级降压收集极中应用处于第一收集极之后相对于第一收集极为高电位的附加电极,使得该电极与第一收集极之间的区域......
讨论了密封中子发生器中二次电子流的产生机制，介绍了几种不同的二次电子流的抑制方法。针对不同的抑制方法进行了粒子模拟实验，结果......
考虑二次电子的产生和散射,利用Monte Carlo方法模拟了具有高斯分布特征的低能入射电子束斑在抗蚀剂中的散射过程,分别得到了电子......
针对一种基于二次电子发射的跳跃电子阴极三极管结构进行了研究，这种特殊结构可以有效地提高了电子注电流密度。并减小受残余气体离......
本文研究在扫描电子显微学中,借助蒙特卡洛模拟方法,可以从理论上系统地研究二次电子和背散射电子的信号产生和发射过程,从而理解......
电压衬度（Voltage Contrast，VC）是CMOS集成电路失效分析的一种有效方法。电压衬度主要利用二次电子的发射效率与样品表面电势相关的原......
综述了用扫描电镜的二次电子像获得掺杂半导体衬度剖析的方法.实验发现掺杂半导体扫描电镜像对杂质浓度的灵敏度可以达到1016cm-3,......
基于粒子云网格的计算方法,建立了具有外电路的加速系统模型,模拟了氘离子束轰击靶面产生二次电子的过程,动态地分析了二次电子的......
低轨道高压太阳电池阵与空间冷稠等离子体相互作用是复杂的非线性过程,对该相互作用占支配影响地位的是电池阵裸露互联附近的鞘层......
利用蒙特卡洛模拟固体中电子散射轨迹的计算方法,系统地研究了扫描电镜中二次电子信号的发射过程.该模拟电子与固体相互作用的蒙特......
针对单极性脉冲电压下不同微槽结构绝缘子真空沿面闪络特性开展实验研究.根据二次电子运动特性,设计了多种微槽宽度,对比了微槽结......
为充分了解用于金刚石放大光阴极电子枪中的金刚石薄膜对初级电子束流强的放大特性及与其他因素的关系，利用VSIM软件的PIC模块对金......
观察发现负电子环的真空度随流强呈线性变化，正电子环的真空度随流强呈非线性变化，在正电子环的弧区，真空度的非线性变化很明显。讨论......
用扫描电子显微分析手段研究电气石微粒的运动行为、影响因素,为评价电气石自发电极性提供新方法.结果表明,在SEM下用二次电子(SE)......
叙述了用于真空电子束圆形焊缝的自动跟踪系统的设计和试验过程.在真空电子束焊接航天器件的圆形焊缝时,由于工装等原因,出现电子......
建立了带有外加磁场和离子溅射二次电子的离子推力器中和器壁面鞘层模型，通过采用四阶龙格库塔方法，研究了带有二次电子发射条件下的......
为更好地理解放电腔内等离子体物理机制,对Kaufman型离子推力器放电腔进行了数值研究,其中初始电子采用粒子模拟的方法处理,二次电......
针对二次电子谐振倍增引起的微放电效应导致微波部件传输性能降低的现象,提出了一种能显著抑制二次电子的收拢式微陷阱表面结构。......
