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全内反射技术检测大口径光学元件体内缺陷
为有效检测光学元件体内的缺陷情况, 利用全内反射技术, 让激光束在光学元件内部多次全内反射后获得缺陷的散射光斑图像, 结合基于......
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缺陷深度位置检测
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