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快速退火工艺对BTO薄膜结构的影响
采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺在Ts=440℃条件下制备组份Bi/Ti=1.44的非晶态薄膜,经过快速退火处理,制备择优取向的Bi4Ti3O12铁......
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金属有机化学气相沉积
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快速退火
能谱AX
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