采用PLD（脉冲激光沉积）技术在单晶硅（100）基片上制备出性能优良的ZnO薄膜，并通过XRD（X射线衍射仪）和SEM（扫描电镜）检测了其结晶情况，并分析了......

随着器件尺寸低于100m,半导体工业就面临技术和基本理论的双重挑战,电子器件的微型化发展成为中心议题载入了国际半导体技术蓝图中......