腐蚀电流控制相关硕士博士期刊学术论文

宏孔硅是孔径在微米尺寸的多孔硅,其制备方法分为深反应离子刻蚀和光电化学腐蚀。与深反应离子刻蚀相比,光电化学腐蚀具有高长径比......