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膜下基体衍射法相关论文
用X射线应力仪无损检测薄膜材料厚度
基于X射线衍射与吸收理论,提出一种薄膜厚度测量方法即膜下基体衍射法.利用X射线应力仪测量高速钢表面的TiN薄膜厚度,发现利用膜下......
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X射线应力仪
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