自组织生长SiGe岛相关硕士博士期刊学术论文

研究了自组织生长SiGe岛(量子点)中Si组分对形状演化的影响.采用UHV/CVD方法生长了不同Si组分的SiGe岛,用AFM对其形状和尺寸分布进......