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蓝宝石基相关论文

高温退火工艺对直流反应磁控溅射制备蓝宝石基氮化铝模板的影响

采用直流反应磁控溅射与高温退火工艺大批量制备了膜厚为200 nm、400 nm及800 nm的2英寸蓝宝石基氮化铝模板,并对高温退火前后不同......

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氮化铝磁控溅射高温退火结晶质量蓝宝石基模板 aluminum nitridemagnetron sputteringhigh-temperature

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