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虚膜插入模拟技术相关论文

光致抗蚀剂曝光的虚膜插入模拟技术

提出了在各膜层之间插入虚膜的计算方法，导出了相应的光学薄膜传输矩阵。该方法使得膜与膜之间解耦，并便于在计算机上存储和计算薄膜......

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