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针对微机械领域中常用的静电梳微谐振子,对其悬臂梁的两种结构--蟹脚型结构和直脚型结构的受力情况作了分析,推导出应力和位移的计......
本文针对微机械领域中常用的静电梳微谐振子中存在的静力学问题 ,对其悬臂梁的两种结构——蟹脚型结构和直脚型结构的受力情况作了......
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针对微机械领域中常用的静电流微谐振子，对其悬臂梁的两种结构－蟹脚结构和直脚型结构的受力情况作了分析，推导出应力和位移的计算方法......
