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超大规模集成电路生产工艺正朝着晶圆尺寸不断增大,集成度不断增加,刻蚀线宽不断减小的方向快速发展。能够提供高刻蚀速率、高刻蚀......
木星为太阳系内少有的强磁场行星,其等离子体环境十分恶劣,可对木星探测器造成严重的表面充电效应。文章采用有限元方法,借助COMSO......