表面微机械相关论文
本文介绍了HF腐蚀牺牲层二氧化硅的一、二阶混合释放腐蚀模型.以从port到bubble的组合微机械结构为例,深入研究了一、二阶混合释放......
建立了等效单层梁模型和一维集总模型,用经典力学理论和传输矩阵方法模拟了多层材料构成且具有四臂固支梁结构的1.55μm Si基MOEMS......
利用压电薄膜和表面微机械技术可实现新型的氧化锌簿膜器件。本文分析了氧化锌薄膜表面微机械器件中氧化锌的压电效应，微机械结构的......
提出一种基于表面微机械工艺的MEMS温度传感器,其基本原理是:由于材料热膨胀系数的差异,复合悬臂梁在热应力作用下发生弯曲,进而影......
