表面波等离子体相关论文
随着半导体等现代行业的快速发展,四氟化碳由于其稳定的化学性质而被广泛应用,由于能够强烈的吸收红外辐射和极高的稳定性,使得四......
近年来,随着等离子体科学研究地不断深入,使得等离子体技术被广泛应用于能源、材料、环境、宇宙等诸多专业领域。特别是在材料表面......
等离子体作为一种物质形态在宇宙空间中普遍存在,是与物质的气态、液态和固态并存的第四态,也被称为等离子体态。等离子体在整体上......
随着人类对等离子体认识的深入,等离子体技术现在广泛被应用于能源、物质与材料、环境与宇宙三大领域。特别是在航空航天领域,传统......
由单极驱动的表面波等离子体(Surface-wave-sustained plasma,SWP)是近年发展起来的一种低气压、高密度等离子体,这种技术非常适用......
介绍一种矩形反应腔体结构的表面波等离子体源,通过对垫层介质及天线结构的优化设计,产生了大面积均匀的等离子体.采用静电探针测......
表面波等离子体（Surface-wave-sustained plasma，SWP）是近年发展起来的一种新型低压、高密度等离子体。应用这种技术，很容易实现镀膜过......
潘宁过程可以有效地降低直流、低频放电中的放电起始电压。关于射频放电，特别是表面波等离子体中的潘宁过程的研究，目前还很少有报道......
等离子体浸没离子注入克服了视线限制,具有注入效率高、对三维物体处理能力强、与等离子体工艺兼容的特点,在金属材料、化工材料的......
为研究临近空间表面波等离子体减阻效果,基于流体宏观模型的基本特征,分析了表面波等离子体流动控制机理的基础,以飞艇为模型,对其......
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为适应半导体技术的快速发展,需要寻求一些新的等离子体源。介绍了两种比较新颖的等离子体源———表面波等离子体(SWP,surface wa......
表面波等离子体是一种具有大面积,高密度,均匀性和稳定性好的优越特性的等离子体。在这篇文章里,我们研究了表面波等离子体的制备......
在微波霍尔推力器中,微波通过窗口耦合到霍尔加速通道,在通道底部介质板附近产生表面波等离子体以抑制振荡。表面波等离子体能否顺......
随着等离子体科学研究的不断深化、发展,等离子体技术被应用于非常广泛的领域,特别是在集成电路制造、材料处理等方面,等离子体技......
