微电子材料相关论文
高纯双氧水是半导体生产中不可缺少的配套材料,过去这一产品主要依赖进口,如今这一历史宣告结束。2006年10月24日,国内首家生产高......
由北京科华微电子材料有限公司投资建设的我国第一条百吨级高档光刻胶生产线2009年5月8日在北京市顺义区建成并投产运行。这标志着......
随着微电子行业的发展,集成度不断提高、器件尺寸持续减小,使得许多传统微电子材料与技术面临巨大挑战。原子层沉积(Atomic layer ......
锗材料由于具有比硅材料高的电子和空穴迁移率，在通信波段有较高的吸收系数并且与成熟的硅工艺相兼容等优点，使其成为下一代高性能微......
SiC作为一种优秀的微电子材料,以其禁带宽、饱和电子漂移速度大、临界雪崩击穿电场高和热导高的特点,在大功率、高频、耐高温、抗......
硅是最重要的微电子材料,它具有很好的电子特性和易加工特性.但硅的光学特性远不如其电子特性,因此在制造发光二极管和半导体激光......
我的最新一位启明星采访对象是从事微电子材料、工艺的学者屈新萍(上图)。尽管我已从启明星通讯本上大概知道了屈的个人情况、专业......
《半导体国际》第三届光刻技术研讨会10月25日成功举行。应用材料，Entegris（英特格）、特许半导体、苏州华飞微电子材料公司，中芯国际，AS......
采用有限元数值方法分析微电子材料化学机械平坦化(CMP)工艺过程中材料的变形和去除机理,得到作用在磨料颗粒上的力与名义压力、磨......
功能材料主要分为哪些种类？请您谈一谈信息功能材料的基本情况及其席用领域。赵连城院士：功能材料是一大炭具有特殊电、磁、光、声、......
电子信息材料是现代信息产业最重要的基础之一。从电子信息材料的功能、属性和应用来分，电子信息材料可以分为微电子材料、光电材料......
纳米碳管是一种新型准一维的功能纳米材料,其独特的分子结构和性能引起了人们极大的关注,简要介绍了纳米碳管的结构特征、制备和修......
等离子体浸没离子注入克服了视线限制,具有注入效率高、对三维物体处理能力强、与等离子体工艺兼容的特点,在金属材料、化工材料的......
在硅电子材料即将发展到顶峰时,石墨烯以其优良的导体和半导体性质将成为延续硅材料的主流微电子材料;详述了石墨烯的结构与电学性......
进入20世纪90年代以来,材料科学技术的发展异常迅猛,材料科学与生命科学、信息科学、环境科学等共同构成了当代科学技术的前沿.展......
<正> 目前,科技部在“十五”总体安排中的重点新材料有:以光电子材料、电子信息材料、微电子材料为主体的信息材料;功能材料,具备......
电子信息材料是指在微电子、光电子技术和新型元器件基础产品领域中所用的材料，主要包括单晶硅为代表的半导体微电子材料；激光晶体为......
随着集成电路的飞速发展,半导体器件特征尺寸按摩尔定律不断缩小。SiO2栅介质将无法满足Metaloxide-semiconductor field-effect t......
在硅电子材料即将发展到顶峰时,碳纳米管及石墨烯以其优良的导体和半导体性质将成为延续硅材料的主流微电子材料.详述了碳纳米管和......
绝缘体上的锗硅技术(SiGe on Insulator,SGOI)和以它为衬底开发的应变硅技术 (Strained Silicon on Insulator,sSOI)融合了SiGe技......
简要综述了化学镀工艺在微电子材料中的应用,讨论了影响化学镀镍、铜、锡、钴和贵金属等的主要因素,阐述了化学镀微电子材料的特性......
