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期刊

微谐振器综合规范尺寸 microresonator synthesis canonical device dimensions

MEMS器件综合技术的研究

随着微电子机械系统技术的飞速发展,由于MEMS器件在国防和民用领域有着广泛的应用前景,MEMS研究已成为世界上发达国家高科技发展的......

学位

MEMS 器件综合逻辑综合系统综合规范尺寸

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