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准分子激光诱导结晶硅膜的Raman光谱分析
采用XeCl准分子激光器对PECVD法生长的非晶硅膜进行了诱导晶化处理.对结晶膜的晶体质量进行了Raman光谱表征.研究表明,对于非扫描模......
期刊
准分子激光
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诱导晶化处理
结晶膜
结晶度
Amorphous filmsAmorphous siliconCharacterizati
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