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采用磁控溅射法制备了氧、氮掺杂的非晶硅膜,测量了薄膜的荧光光谱,获得了包括红光、绿光、蓝光及紫光和紫外的强荧光发射,其荧光......
目前TOPCon电池的一大任务就是如何简化制备工艺,以便最大限度地降低成本。图24给出了TOPCon电池的3种不同的工业化工艺流程,这3种......
采用XeCl准分子激光器对PECVD法生长的非晶硅膜进行了诱导晶化处理.对结晶膜的晶体质量进行了Raman光谱表征.研究表明，对于非扫描模......
随着社会经济的发展,能源危机和环境污染问题加剧,寻找清洁可再生能源已成为世界范围能源研究的重点。其中太阳能光伏行业的发展尤......
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本文对TFT在栅极绝缘层和非晶硅膜层沉积过程中,透明电极ITO成分对膜层的污染和TFT电学性质的影响进行分析研究。通过二次离子质谱......
对TFT制作工艺中,TFT有源层刻蚀均一性与电学性质进行分析研究。通过扫描电子显微镜,电学测试设备对样品进行分析。结果显示沟道有......
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