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基于微石英晶振的静电力显微镜的设计
描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜(EFM).利用谐振频率为32.768 kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器,它在逼近......
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静电力显微镜
微石英晶振
表面电荷分布
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微力传感器
检测原理
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