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质量分离离子束沉积相关论文
质量分离低能离子束制备极光滑类金刚石薄膜
本文利用质量分离的低能离子束技术沉积得到了表面极为平整的类金刚石薄膜.样品用Raman谱和原子力显微镜进行了分析.并且研究了沉......
会议
类金刚石薄膜
质量分离离子束沉积
表面形貌
薄膜技术
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