超亲疏水性相关硕士博士期刊学术论文

本文首先结合电子束光刻和硅深刻蚀工艺，创造性地提出了一种利用刻蚀沟槽侧壁的扇贝形貌来制备三维纳米硅栅阵列的方法，并应用于纳米......