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太赫兹金属双光栅超厚胶光刻工艺
介绍了制备某太赫兹频率真空辐射光栅的超厚胶光刻工艺,针对工艺中的难点(大厚度和高深宽比)展开了深入分析。实验分析了基片处理、涂......
期刊
双光栅
太赫兹
光刻
超厚胶
深宽比
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terahertz
photoetching
ultra-thick photoresis
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