超声时效技术相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

超声时效技术相关论文

超声时效技术在微注塑模具制作中的应用

针对金属微注塑模具UV-LIGA制作过程中由于SU-8胶内应力过大而引起的胶膜破裂、变形甚至脱落等问题，提出将超声时效技术应用于微注......

期刊

超声时效技术微注塑模具 UV-LIGA工艺 SU-8光刻胶内应力 ultrasonic stress relief technology microinje

环形万向MEMS惯性开关制作工艺研究

随着微机电系统技术的不断发展,MEMS器件在一些工业领域逐渐得到应用。MEMS惯性开关作为一种惯性冲击检测传感器在航空、航天、运......

学位

UV-LIGA MEMS惯性开关超声时效技术紫外光刻误差补偿

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