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平面上任意粒子的光散射计算
对于粒子的光散射研究,将给半导体晶片的检测起到一个很好的理论指导作用.在粒子光散射计算的T矩阵方法中,将入射场和散射场用球矢......
学位
任意粒子
超椭球函数
光散射
T矩阵
硅底表面单粒子光散射研究
缺陷及其所带来的影响是IC芯片失效的主要原因。因此,在集成电路生产过程中迫切需要对晶圆表面质量进行严格的检测与控制,而激光缺陷......
学位
任意粒子
超椭球函数
散射
无限表面
T矩阵
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