随着科学技术和人类社会的不断发展,传统的定位技术在精度上已经无法满足人们的要求,因此超精密定位系统的研究越来越受到国内外学......

作为精密加工工业的基础,超精密定位技术已经成为高精度加工的关键环节之一.本文设计了集位移数据采集、处理、控制于一体的超精密......

最近，Ｑｕｅｅｎｓｇａｔｅ仪器有限公司研制出一系列超精定位机械，它们将Ｑｕｅｅｎｓｇａｔｅ的压电及纳米级传感器技术融合为具有亚纳米级定位精度能力的多轴定位控制器。在......