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超细粒度金刚石砂轮相关论文

单晶硅反射镜的超精密磨削工艺

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期刊

单晶硅反射镜工件旋转法磨削表面/亚表面损伤面形控制超细粒度金刚石砂轮 silicon reflectorworkpiece rotational gri

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