面形控制相关论文
研制膜基反射镜需要解决的关键技术之一是膜基反射镜的面形控制。对自行开发的基于模糊逻辑控制理论的膜基反射镜面形控制系统的结......
主动光学技术是现代大口径望远镜建造过程中的关键技术之一,主动光学利用波前传感器实时测量望远镜系统中的光学像差,并通过控制主......
建立了抗蚀剂表面曝光量分布与抗蚀剂内部PAC浓度分布之间的关系,通过分析抗蚀剂内部PAC浓度分布特 点,发现了抗蚀剂显影过程中的......
膜基反射镜的面形控制是研制膜基反射镜的关键技术之一。设计了一种基于模糊逻辑控制技术的膜基反射镜面形控制系统,包括面形设计......
薄膜加载变形的反演求解问题是薄膜反射镜成形控制的核心问题。为了实现薄膜面形的高精度控制,给出了柔性圆薄膜由平面变为特定矢......
介绍了大型天体望远镜光学镜面面形的控制方法和工作原理.该大型天体望远镜10m直径的主镜由36块对角线长1.8 m的六角形子镜拼接而......
针对大型激光系统中光束质量低和波前畸变等特点,采用离子辅助电子束蒸发技术成功实现对多层膜残余应力的精确控制。通过分析氧化......
为了控制薄膜反射镜面形，建立了静电拉伸薄膜反射镜物理模型。根据静电力与薄膜变形载荷作用力之间的平衡关系和静电拉伸薄膜反射镜......
为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份......
首先简单介绍了双面研磨/抛光加工的机理,随后针对超薄硬脆材料的双面加工对设备所提出的需求,从上下盘的面形控制、压力精度控制......
空间望远镜分块式主镜的面形由其背后布置的若干致动器进行高精度控制。为了提高面形控制精度,设计了基于主镜面形非线性模型的模......
空间望远镜分块式主镜的面形是由其背后布置的若干致动器控制的,是一个复杂的控制系统。应用BP神经网络的方法建立了以致动器作用......
为了实现对拼接式望远镜各子镜的主动控制,建立了正六边形子镜拼接的面形控制方程,并研究了传感器的安装位置对面形控制的影响。根......
微透镜阵列在光束整形、光束准直等方面有着非常重要的作用,制作微透镜阵列的方法也有多种。本文针对柱面微透镜阵列的制作,在研究......
新一代空间望远镜采用分块式主镜方案,以多个旁瓣子镜背后布置的若干致动器为控制手段,对主镜面形进行高精度控制,是一个复杂的控......
提出了一种可对大矢高、非球面微透镜阵列面形进行精确控制的新方法。针对不同面形的微透镜阵列 ,该方法首先对光致抗蚀剂表面的曝......
400年前望远镜的发明,给以观测为基础的天文学的发展带来了革命性的变化。以光电探测器为终端的望远镜称之为光电望远镜,它在研究......
