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软X射线膜相关论文

Mo/Si软X射线多层膜中厚度均匀性的精细控制

为了获得光学性质均匀的大面积软X射线多层膜,必须控制好周期结构中单层膜的厚度均匀性。为此建立了磁控溅射薄膜沉积技术中单层膜......

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Mo/Si 薄膜软X射线膜厚度均匀性变速转动法单层膜周期结构磁控溅射不均匀性光学均匀性

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