选择性湿法刻蚀相关论文
报道了一种长波长的 In P基谐振腔 (RCE)光电探测器 .采用选择性湿法刻蚀 ,制备出基于 In P/空气隙的分布布拉格反射镜 ,并将该结......
期刊
报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光探测器。它采用选择性湿法刻蚀。制备出基于InP/空气隙的分布布喇格反射镜(DBR)。并将该结......
利用动态掩膜腐蚀技术,研究了HF/CrO3腐蚀液对各种不同组分的AlxGa1-xAs(x=0.3,0.5,0.65)的腐蚀速率及腐蚀表面形貌,随着HF(48wt%)/CrO3......
介绍了目前实现高性能InP基谐振腔型(RCE)长波长光探测器的几种方案.采用InP-空气隙DBR结构、正入射光、响应波长为1550nm的高灵敏......
报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光电探测器,采用选择性湿法刻蚀,制备出基于InP/空气隙的分布布拉格反射镜,并将该结构的反射镜引......