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透射电镜表征相关论文
异质外延薄膜中的微观结构表征及分析
高质量的异质结构是半导体器件性能的保证,也一直是外延生长中的挑战。其难度根源在于外延薄膜和衬底之间晶格常数、晶体对称性及......
学位
SiGe薄膜
异质外延生长
透射电镜表征
应力分析
缺陷
α-Sn外延薄膜
相分离
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