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硅微透镜阵列与红外焦平面阵列的单片集成
基于标量衍射理论,考虑焦距长度与微透镜尺寸的关系,提出了一种新的制作二元光学衍射微透镜的方法——部分刻蚀法.利用这种方法制作......
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二元光学
部分刻蚀
微透镜阵列
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