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聚酯型光致抗蚀剂的分子组成和性能研究
由肉桂叉丙二酸(或酯)与乙二醇合成的聚酯胶在微电子工业上作为光致抗蚀剂使用时,最突出的优点是分辨率高、光敏性好,主要缺点是......
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