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金属气相沉积相关论文
羰基金属气相沉积方法制备钼钨合金阻抗膜的研究
利用羰基金属气相沉积方法,在AlO陶瓷基片上,以Mo(CO)和W(CO)为源,制备了具有超微粒结构的Mo/W合金多晶膜材料.该材料不仅有超模量......
会议
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