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金属透射光栅相关论文
软X射线干涉光刻相关技术研究
周期性的纳米级线、点、孔等结构在许多方面都有重要的应用价值。例如探究下一代的计算技术及高密度数据存储技术的量子点阵、磁点......
学位
金属透射光栅
严格耦合波法
电子束光刻
衍射效率
软X射线干涉光刻
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