钒膜相关论文
基于辅助阳极的电场增强高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术改善了常规HiPIMS放电及镀膜过程.研究工作参数对电场增强HiPIMS的调制作......
为了使高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术在保持高离化率的条件下实现HiPIMS高速沉积过程,采用电场与磁场双外场协同作用改善HiPIMS......
高功率脉冲磁控溅射技术(HIPIMS)作为一门新兴的电离化物理气相沉积技术已成为国内外研究热点。相比传统直流磁控溅射,HIPIMS放电......
学位
