钽膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

钽膜相关论文

电弧离子沉积钽膜及微结构研究

目的研究电弧离子沉积钽膜的沉积工艺及微观结构,分析钽膜生长机理。方法采用电弧离子沉积法在石墨基体上沉积钽膜,研究了沉积工艺......

期刊

电弧离子沉积钽膜物相组成沉积速率膜层形貌生长机理

钛阳极磁控溅射钽的工艺研究

涂层钛阳极在使用中会因氧化而失效.为了开发新型的涂层钛阳极,进行了磁控溅射钽作钛阳极底层的研究.通过改变溅射功率、氩气压力......

期刊

磁控溅射钽膜涂层钛阳极工艺

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