以N2和O2为载气,采用催化剂增强化学气相沉积法于聚酰亚胺上获得了Pt和Pd-Pt双层金属薄膜. 当使用Pd（hfac）2和PtMe2（COD）为前驱体,在同......

以N2和O2作载气,采用催化剂增强化学气相沉积法在聚砜上获得了Pt和Pd-Pt双层金属纳米薄膜.当使用Pd（hfac）2和Pt（COD）Me2为前驱体在同一......

利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面上沉积Pt膜,采用试验二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba,BaO蒸发到镀铂栅极和纯钼栅......

实验研究了离子束溅射铂膜的沉积速率与溅射功率、基片温度之间的关系。结果表明基片温度对沉积速率有明显的影响．沉积速率随基片温......