铂薄膜热敏电阻相关硕士博士期刊学术论文

本项研究目的是制作微型高精度铂薄膜热敏电阻器与集成电路配合,用于工业和科研中温度的精确测量.用高纯铂板作靶材,在玻璃基板上......