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铌掺杂锆钛酸铅相关论文
铌掺杂锆钛酸铅薄膜驱动的压电MEMS悬臂梁研究
压电式微悬臂梁是一种基于微机电系统(MEMS)技术,在硅片上制成的一端固定另外一端可以垂直于基底运动的微机械结构,复杂的MEMS传感......
学位
微机电系统
压电式
悬臂梁
铌掺杂锆钛酸铅
镍酸镧
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