铜微互连线相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

铜微互连线相关论文

铜微互连线原子迁移仿真研究

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期刊

原子迁移铜微互连线原子通量散度法多物理场耦合失效机制

铜微互连线的原子迁移失效研究

随着微互连向深亚微米尺度发展,电流密度高、应力集中、散热难等问题愈发突出,原子迁移失效逐渐成为了超大规模集成电路不可忽视的......

学位

铜微互连线原子迁移原子通量散度多物理场耦合模拟加速测试

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