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锗同质外延相关论文
锗同质外延和SGOI衬底上锗外延生长研究
Ge材料拥有高的空穴和电子迁移率,以及在通信波段光吸收系数大等优点,因此在器件的应用方面备受青睐;SGOI材料,结合了SOI和SiGe材......
学位
臭氧处理
锗同质外延
锗浓缩
SGOI衬底清洗
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