采用磁控溅射方法制和轩了Ｓｎ衰减膜，应用真空α能谱测厚仪和α－ｓｔｅｐ１００台阶仪分别测得Ｓｎ衰减膜的质量厚度为４５０．３μｇ／ｃｍ＾２，表面不均匀性〈３％，质量厚度和表面均匀......