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为了满足窄锥结构动冰力函数构造的需要,提出了一个新的锥体结构冰力计算公式.公式由体现锥角效应、接触宽度效应和冰断裂长度效应......
研究主要聚焦在批处理离子注入机台的沟道效应和锥角效应,以及阐述由于这些效应导致的晶圆片上的均匀性问题和产品上的良率损失。......
