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薄膜太阳电池系列讲座(12)硅基薄膜太阳电池(四)
图16为以等离子体内SiH3为生长前驱物模式的硅薄膜沉积示意图.rn此模型中假设在SiH3离子落向衬底之前,表面将被H覆盖.首先SiH4在等......
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薄膜太阳电池
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