镱薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

镱薄膜相关论文

镱薄膜传感器压阻灵敏度的研究

采用真空蒸发工艺制备镱薄膜传感器，在小于1GPa压力范围内对未经任何处理和300℃真空热处理1h两组镱薄膜传感器进行准静态加载标定，......

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镱薄膜传感器压阻灵敏度准静态加载压阻系数热处理 X射线衍射谱 Yb film sensor quasi-static loading piezores

镱薄膜应力传感器的工艺研究

介绍了镱薄膜应力传感器的工艺设计和制造过程 ,通过传感器的静态、动态标定及材料测试 ,验证了新的工艺设计和制造过程是正确可行......

期刊

应力传感器镱薄膜蒸发工艺

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